21 系列標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器，采用內(nèi)部補(bǔ)償型層流壓差技術(shù)，使得大流量范圍下氣體仍舊保持層流運(yùn)動(dòng)。內(nèi)置的絕壓和溫度傳 感器充分補(bǔ)償因壓力和溫度引起的體積流量與質(zhì)量流量間的差異，并對(duì)用 戶標(biāo)準(zhǔn)工況進(jìn)行修正。具有 NIST 可溯源校準(zhǔn)證書。 可用于快速精確地測量并控制過程氣體的質(zhì)量流量、體積流量、壓力，并 顯示氣體溫度，適用于多種流量測控場合。設(shè)備采用快速穩(wěn)定的優(yōu)質(zhì)電磁 閥以及優(yōu)化的 PID 調(diào)校，可達(dá)到優(yōu)于 100 ms 的控制速度，并保持穩(wěn) 定性，并有超低壓損產(chǎn)品可供您選擇。

行業(yè)應(yīng)用

● 大學(xué) / 研究所

● 環(huán)境監(jiān)測

● 真空行業(yè)及鍍膜

● 工業(yè)爐窯

● 半 導(dǎo) 體 

● 汽車制造 

● 光 伏

● 燃料電池 

● 計(jì)量校準(zhǔn) 

● 過程工藝氣體測量

精度升級(jí)

量程為 0.5 SCCM - 6000 SLPM， 其中 10 SCCM - 20 SLPM 量程段，下述指標(biāo)升級(jí)：

質(zhì)量流量普通精度 ± 0.6% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

質(zhì)量流量高精度 ± 0.5% 讀數(shù)或 ± 0.1% 滿量程（取最大值）

重復(fù)性 ±（0.1% 讀數(shù) + 0.02% 滿量程）

質(zhì)量流量零點(diǎn)漂移 ± 0.01% 滿量程 / ℃溫差  ± 0.01% 滿量程 / Atm 壓力差

質(zhì)量流量量程漂移 ± 0.01% 讀 數(shù) / ℃溫差  ± 0.1 % 讀 數(shù) / Atm 壓力差

標(biāo)準(zhǔn)型質(zhì)量流量控制器性能指標(biāo)

介質(zhì)要求 非腐蝕性、潔凈、干燥的氣體

介質(zhì)種類 內(nèi)置了 98 種氣體，請(qǐng)參考背面  一臺(tái)設(shè)備內(nèi)置所有氣體，用戶可現(xiàn)場選擇

量 程 從 0 - 0.5 SCCM 到 0 - 6000 SLPM

測量和控制范圍 0.01~100% 滿量程

最大顯示流量 128 % 滿量程

最大可控流量 102.4 % 滿量程

顯 示 屏 按鍵操作，標(biāo)準(zhǔn)為 LCD 黑白

顯示屏（帶背光），  可選 TFT 彩色顯示屏

顯示方式 同時(shí)顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力、溫度

精 度  ±（0.8 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）精度升級(jí)部分見左下角

         ±（0.4 % 讀數(shù) + 0.2 % 滿量程）（可選）

累計(jì)流量精度 流量精度之外增加 ±0.5% 讀數(shù)的額外誤差

重 復(fù) 性 ± 0.2 % 滿量程

零點(diǎn)漂移 & 滿量程漂移 0.02 % 滿量程 / ℃ / Atm

響應(yīng)時(shí)間 優(yōu)于 100 ms  

預(yù)熱時(shí)間 ＜ 1 s 標(biāo)定工況 25 ℃ & 1Atm（其它標(biāo)況可調(diào)）

工作溫度 -10 ～ 60 ℃（可選高溫選項(xiàng)至 100℃）

溫度精度 ± 0.75 ℃  

工作濕度 0 ~ 95 %，無冷凝

最大工作壓力 1 MPaG（可選 2 MPaG 高壓選項(xiàng)）

低操作壓力 如果不做真空特殊標(biāo)定，建議在絕壓 80 KPaA 以上使用；  

其他真空壓力建議做特殊標(biāo)定

壓力精度 ± 0.5 % 讀數(shù)（讀數(shù)＞ 1Atm）或 ±0.07 PSIA（＜ 1Atm）

滿量程壓損 參考背面詳細(xì)壓損表

數(shù)據(jù)刷新頻率 數(shù)字信號(hào) 40 Hz@19200 波特率；模擬信號(hào)：1000 Hz

屏幕刷新頻率 10 Hz

數(shù)字輸入 / 輸出信號(hào) RS232、RS485、Modbus TCP/IP、DeviceNet、  EtherCAT、EtherNet/IP、Profibus*、Modbus RTU（RS232/RS485）

模擬輸入 / 輸出信號(hào) 0-5 VDC、1-5 VDC、0-10 VDC、4-20 mA